（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201110144388.9 （22）申请日 2011.05.31
（71）申请人 南亚科技股份有限公司
地址 中国台湾桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号
（10）申请公布号 CN102737986A
（43）申请公布日 2012.10.17
（72）发明人 廖建茂;陈逸男;刘献文
（74）专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 臧建明
（51）Int.CI
H01L21/321; H01L21/30;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
化学机械研磨方法
（57）摘要
本发明公开了一种化学机械研磨方法，其
适用于在化学机械研磨机中使用疏水性研磨垫对基材进行研磨，且此化学机械研磨方法包括下列步骤。首先，对基材进行第一化学机械研磨过程。接着，对疏水性研磨垫进行第一清洗过程。然后，对基材进行第二化学机械研磨过程，其特征在于第一化学机械研磨过程、第一清洗过程与
第二化学机械研磨过程为依序进行。本发明可有效提升在使用疏水性研磨垫时的研磨效率。
法律状态
法律状态公告日
2012-10-17 2012-12-12 2015-04-01
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
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发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
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说明书
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