（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910245285.8 （22）申请日 2019.03.28 （71）申请人 赵青
地址 200000 上海市浦东新区曹路镇上川路1395号
（10）申请公布号 CN109884411A
（43）申请公布日 2019.06.14
（72）发明人 赵青
（74）专利代理机构 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 黄前泽
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种MEMS空间电场强度传感器及测量系统及方法
（57）摘要
本发明公开了一种MEMS空间电场强度传
感器及测量系统及方法，包括MEMS芯片，在MEMS芯片内设置两组第一静电场微电机和第二静电场微电机，第一静电场微电机是主动驱动电机，且第一静电场微电机中产生的静电力会使得第一静电场微电机中的极板旋转的结构，第二静电场微电机是被动驱动电机，被动驱动电机包括一组开有一孔以上的金属叶片构成的转子以及与转子结构相同的定子，且定子上的金属片是当金
属片暴露在外面时能够获取空间中电场量的感应片，且转子与定子配合后保证感应片分时段屏蔽电场，保证空气中的静电场在不断地屏蔽、暴露过程中产生不同的电荷量，最终形成交变信号，通过检测该交变信号来作为传感器检测空间电场强度的信号值。
法律状态
法律状态公告日2019-06-14 2019-06-14 2019-07-09
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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权利要求说明书
一种MEMS空间电场强度传感器及测量系统及方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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