专利名称：基于可变补偿透镜的非球面面形干涉测量方法及装
置
专利类型：发明专利
发明人：陈善勇,戴一帆,李圣怡,卢劲丰,薛帅,彭小强申请号：CN201610348548.4申请日：20160524公开号：CN106052583A公开日：20161026
摘要：本发明公开了一种基于可变补偿透镜的非球面面形干涉测量方法，方法步骤包括：在波面干涉仪形成的点光源与被测非球面之间插入可变补偿透镜；调整可变补偿透镜在点光源与被测非球面之间的距离，使得经可变补偿透镜补偿后的剩余像差在波面干涉仪的动态测量范围内；根据经可变补偿透镜补偿后的剩余像差获取被测非球面的面形误差。装置包括波面干涉仪和可变补偿透镜，可变补偿透镜布置于波面干涉仪形成的点光源的前侧，可变补偿透镜和波面干涉仪的光轴重合，可变补偿透镜为平凹单透镜或平凸单透镜，平凹单透镜的凹面或平凸单透镜的凸面为高次非球面，本发明具有在不更换补偿器的情况下可对多种非球面面形进行干涉测量的优点。
申请人：中国人民解放军国防科学技术大学
地址：410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院
国籍：CN
代理机构：湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
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