专利名称：一种石墨烯选择性定点转移方法专利类型：发明专利
发明人：刘智波,陈旭东,田建国申请号：CN201310366961.X申请日：20130821公开号：CN103435036A公开日：20131211
摘要：本发明是一种石墨烯选择性定点转移方法，使用光刻胶曝光和PMMA转移方法相结合，并利用显微镜和微操作平台进行转移的微观操作控制，可以将需要的石墨烯部分从整体结构上选择性的转移出来，转移到目标基底的指定位置。该方法包括以下步骤：A.光刻胶的旋涂和选定区域的曝光、显影；B.光刻胶整体的二次曝光；C.旋涂PMMA薄膜；D.显影液中浸泡使PMMA层和原基底分离；E.将附着有目标石墨烯的PMMA层转移到新的基底上；F.调整石墨烯至特定位置；G去除PMMA，完成转移。采用本发明可以高效地将选定的石墨烯或石墨烯微结构转移到目标基底的指定位置，特别适合于机械剥离法石墨烯的选择和转移。
申请人：南开大学
地址：300071 天津市南开区卫津路94号
国籍：CN
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