专利名称：光源设备、照明装置、曝光装置以及用于制造物品
的方法
专利类型：发明专利发明人：大阪升
申请号：CN202011026364.9申请日：20200925公开号：CN112558421A公开日：20210326
摘要：公开了光源设备、照明装置、曝光装置以及用于制造物品的方法。为了使包括发光二极管(LED)阵列的光源设备中的被照射面上的光强度分布均匀化，光源设备包括发光二极管(LED)阵列，该发光二极管阵列包括电路，该电路具有基板、该基板上的多个LED芯片以及电源，其中，预定平面被用来自LED阵列的光照亮，多个LED芯片包括放置在该电路的同一列中的第一LED芯片和与第一LED芯片不同的第二LED芯片，并且第一LED芯片具有与第二LED芯片的放置角度不同的放置角度。
申请人：佳能株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人：宋岩
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