专利名称：涂布装置、涂布方法以及显示器用部件的制造方法专利类型：发明专利
发明人：富永善章,圆崎谕,狮野和幸,阿部哲也申请号：CN201580027268.7申请日：20150310公开号：CN106413915A公开日：20170215
摘要：提供一种涂布装置(1)以及涂布方法，并且提供制造显示器用部件的方法，其中，该涂布装置(1)以及涂布方法除了在涂布开始区域进行来自喷嘴(5)的涂布液(2)的定流量排出之外，还能够瞬时对液滴形成所需要的量的涂布液(2)进行剩余排出。具体来说，具有排出涂布液(2)的喷嘴(5)、使喷嘴(5)与被涂布部件(W)相对地移动的移动单元(8)、向喷嘴(5)提供涂布液(2)的提供单元(10)、以及进行喷嘴(5)内的涂布液(2)的抽吸的减压单元(40)，上述提供单元(10)具有：第1提供单元(61)，其包含以恒定的流量向喷嘴(5)送出涂布液(2)的送液器(12)；以及第2提供单元(62)，其具有储罐(13)以及加压单元(14)，该储罐(13)储存涂布液(2)并且经由流路(11)与喷嘴(5)连接，该加压单元(14)对储罐(13)的涂布液(2)进行加压并向喷嘴(5)送出涂布液(2)。
申请人：东丽株式会社,东丽工程株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
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