专利名称：光生酸剂、其制备方法以及含有该光生酸剂的抗蚀
剂组合物
专利类型：发明专利
发明人：金真湖,徐东辙,任铉淳,洪容和申请号：CN201110122341.2申请日：20110509公开号：CN102289149A公开日：20111221
摘要：本发明提供一种光生酸剂、其制备方法、以及包含该光生酸剂的抗蚀剂组合物。该光生酸剂是由下式1表示的化合物：[式1]其中，在式1中，Y表示选自被芳基取代的烷基和芳香族烃基中的任一种；Q和Q各自独立地表示卤素原子；X表示选自烷烃二基、烯烃二基、NR′、S、O、CO及其组合中的任一种；R′表示选自氢原子和烷基中的任一种；n表示0至5的整数；且A+表示有机反离子。该光生酸剂在曝光时能够产生酸，所述酸具有低的扩散速率，具有短的扩散距离，且显示适当程度的酸度，从而能够改善线宽粗糙度(LWR)特性，并且能够控制其在处理中所用的诸如纯水的溶剂中的洗脱。
申请人：锦湖石油化学株式会社
地址：韩国首尔市
国籍：KR
代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司
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