专利名称：电容性传感器专利类型：发明专利
发明人：奥瑞利·休伯特,马蒂亚斯·梅兹,尤里·维克多诺维奇·
波诺玛廖夫,罗埃·达门,马库斯·J·H·范达纶
申请号：CN201010598155.1申请日：20101215公开号：CN102162804A公开日：20110824
摘要：一种用于检测物质的存在的电容性传感器，包括：多个直立导电柱，布置在传感器的第一层中；连接到所述柱的第一组的第一电极；连接到所述柱的不同的第二组的第二电极；以及用于响应于所述物质的存在改变传感器的电容的、布置为与柱相邻的电介质材料。
申请人：NXP股份有限公司
地址：荷兰艾恩德霍芬
国籍：NL
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：王波波
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