专利名称：带式输送装置专利类型：发明专利
发明人：中田胜喜,谷垣内平道申请号：CN201811455452.3申请日：20181130公开号：CN110015588A公开日：20190716
摘要：技术问题：在能够利用带来输送基板并且在带上利用加工装置对基板进行加工的带式输送装置中，利用多个支撑部件适当地从下方支撑带的上侧输送部。解决方案：带式输送装置(43)是能够利用带来输送基板并且在带上利用加工装置对基板进行加工的装置，其具备环状的第二带(43a)、第一分断装置(7)、多个支撑部件(201)。第一分断装置(7)能够保持第二带(43a)的上侧输送部的一部分并沿输送方向移动。多个支撑部件(201)是用于从下方支撑第二带(43a)的上侧输送部(43a1)的部件，其能够随着上侧输送部(43a1)的移动而沿输送方向移动。
申请人：三星钻石工业股份有限公司
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：北京路浩知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容