专利名称：多层纳米结构化薄膜专利类型：发明专利
发明人：马克·K·德贝,雷蒙德·J·齐格勒,苏珊·M·亨德里克斯申请号：CN200680033616.2申请日：20060823公开号：CN101263620A公开日：20080910
摘要：本文描述了形成包括多层纳米结构化支承元件的薄膜的工艺。纳米结构化支承元件的第一层通过将一种基底材料沉积到基底并进行退火而形成。纳米结构第一层的进一步生长随后被抑制。纳米结构化支承元件的附加的层可通过附加的沉积和退火步骤在纳米结构的第一层上生长。所述多层薄膜提供增大的表面积，并在催化活性与可用来支承催化剂颗粒的表面面积相关联的装置中尤其有用。
申请人：3M创新有限公司
地址：美国明尼苏达州
国籍：US
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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