（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201310173750.4 （22）申请日 2013.05.13 （71）申请人 华南师范大学
地址 510006 广东省广州市广州大学城华南师范大学信息光电技术学院
（10）申请公布号 CN103268903A
（43）申请公布日 2013.08.28
（72）发明人 陈长水
（74）专利代理机构 广州知友专利商标代理有限公司
代理人 宣国华
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种MSM光电探测器的制备方法及MSM光电探测器
（57）摘要
本发明公开了一种MSM光电探测器的制备
方法，该方法包括以下步骤：对晶体硅片表面进行清洁处理；对晶硅硅表面进行硫、硒或碲离子注入，将注入后的晶片退火，注入后硫、硒或碲元素的浓度应达到10
法律状态
法律状态公告日
2013-08-28
公开
法律状态信息
公开
法律状态
法律状态信息
公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
法律状态
公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
法律状态公告日
2013-08-28 2013-09-25 2013-09-25 2016-06-22 2016-06-22 2018-09-04
权利要求说明书
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说明书
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