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专利名称：一种二氧化钛薄膜及其制备方法和应用专利类型：发明专利
发明人：吕林,谢有桃,李恺,曹韫真,郑学斌申请号：CN201610826139.0申请日：20160914公开号：CN107815665A公开日：20180320
摘要：本发明涉及一种二氧化钛薄膜及其制备方法和应用，是利用原子层沉积技术，采用含钛前驱体和含氧前驱体分别作为钛源和氧源，在基材表面沉积得到的二氧化钛薄膜后进行紫外照射后得到，所述二氧化钛薄膜为多晶二氧化钛薄膜，晶相为纯锐钛矿相。本发明采用原子层沉积技术制备锐钛矿型二氧化钛薄膜，具有优良的生物相容性，经过紫外光辐照后可获得优良的抗菌性能。
申请人：中国科学院上海硅酸盐研究所
地址：200050 上海宁区定西路1295号
国籍：CN
代理机构：上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)
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