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专利名称：基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计专利类型：发明专利发明人：杨波,王寿荣,赵辉申请号：CN201210202357.9申请日：20120618公开号：CN102749479A公开日：20121024
摘要：本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计，该加速度计（100）包括第一外部质量块（101）、设置在第一外部质量块（101）内部且与第一外部质量块（101）相连的第一平面谐振器（103a）、设置在第一外部质量块（101）右方且与第一外部质量块（101）相连的第二外部质量块（102）、设置在第二外部质量块（102）内部且与第二外部质量块（102）相连的第二平面谐振器（103b）；本发明结构简单、与平面工艺兼容，避免了常规谐振加速计中细长谐振梁的设计、加工等难点，同时降低了应力、温度对加速度计性能的影响，同时其平面式结构特征便于实现多轴集成。
申请人：东南大学
地址：210096 江苏省南京市四牌楼2号
国籍：CN
代理机构：南京天翼专利代理有限责任公司
代理人：汤志武
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