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专利名称：一种大口径材料表面散射的高速测量装置和方法专利类型：发明专利
发明人：邵建达,刘世杰,董敬涛,吴周令,陈坚,王圣浩,倪开灶申请号：CN201610902337.0申请日：20161017公开号：CN1004794A公开日：20170215
摘要：本发明提出了一种大口径材料表面散射的高速测量装置和方法，包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、偏振分光棱镜、1/4波片、第二高反镜、旋转棱镜、振镜、远心场镜、被测样品、散射光探测器、反射光探测器和行触发探测器。测量系统通过散射光探测器收集材料表面的散射信号，结合棱镜和振镜的复合旋转运动实现了激光光束在大口径样品表面的高速扫描，从而完成了大口径材料表面散射的测量，与传统大口径材料表面散射的测量技术相比，本发明提出的测量装置和方法可以实现大口径样品表面散射的高速测量，从而大大降低了大口径材料表面散射测量所需要的时间，同时测量系统具有较高的结构紧凑性和较低的构建成本。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所,合肥知常光电科技有限公司
地址：201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
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