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紫外光掩模板检测系统[实用新型专利]

来源:九壹网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:紫外光掩模板检测系统专利类型:实用新型专利发明人:刘海龙

申请号:CN201320080236.1申请日:20130221公开号:CN203069526U公开日:20130717

摘要:本实用新型公开了一种紫外光掩模板检测系统,该系统包括:设备机架、构台、图像采集装置、发光装置和感光装置,所述设备机架两侧设置有机架导轨,所述构台底端两侧与所述机架导轨滑动连接,所述发光装置和感光装置对应设置在所述构台上,所述图像采集装置设置在所述构台两侧。采用本实用新型的紫外光掩模板检测系统,无需人员对紫外光掩模板检测,降低了对检测人员的危害,提高了紫外光掩模板检测的准确率和精确度,检验范围内无死角,并且避免了人工方式检查对紫外光掩模板造成的伤害,提高了紫外光掩模板检测的效率,大大降低了成本和时间。

申请人:京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司

地址:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

国籍:CN

代理机构:北京路浩知识产权代理有限公司

代理人:王莹

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