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专利名称：低温下Al对ZrO陶瓷的直接润湿方法专利类型：发明专利
发明人：马冰洋,谈梓贤,尚海龙,杜浩明,齐小犇,刘达申请号：CN202010262310.6申请日：20200406公开号：CN111304617A公开日：20200619
摘要：本发明提供了一种低温下Al对ZrO陶瓷的直接润湿方法，其包括：先对ZrO陶瓷表面进行抛光处理，再放置真空室内；将真空室的背底气压预抽，并将ZrO陶瓷加热；待ZrO陶瓷降至室温后，对真空室充入氩气，并保持压强；对ZrO陶瓷进行磁控溅射时，先采用Al靶由直流阴极控制，得到Al层；在Al层的表面再采用Cu靶由射频阴极控制，得到Cu层，整个薄膜沉积过程中，ZrO陶瓷基片不加热也不施加负偏压；本发明通过磁控溅射的方法在ZrO陶瓷表面沉积Al/Cu双层膜，实现了Al对ZrO陶瓷的直接润湿，润湿界面处不存在任何反应过渡层，从而改善了Al或Al合金对ZrO陶瓷的润湿性。
申请人：上海电机学院
地址：200240 上海市闵行区江川路690号
国籍：CN
代理机构：上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人：范艳静
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