专利名称：钼铌靶坯的制造方法专利类型：发明专利
发明人：姚力军,潘杰,相原俊夫,王学泽,段高林申请号：CN201611045349.2申请日：20161124公开号：CN108103458A公开日：20180601
摘要：本发明提供一种钼铌靶坯的制造方法，包括：提供钼、铌混合粉末；将所述钼、铌混合粉末装入模具后，对所述钼、铌混合粉末进行热压烧结工艺，形成钼铌合金；将所述钼铌合金从所述模具中取出，获得钼铌靶坯。本发明将提供的钼、铌混合粉末装入模具后，对所述钼、铌混合粉末进行热压烧结工艺，形成钼铌合金；将所述钼铌合金从所述模具中取出后，获得钼铌靶坯。通过本发明所述方案，可以提供一种适用于工业化大型生产的钼铌靶坯制造方法，从而不仅可以形成大尺寸的钼铌靶坯，且使所形成钼铌靶坯的致密度达到99％及以上，获得微观结构均匀且满足溅射靶材性能要求的钼铌靶坯。
申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司
地址：315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容