专利名称：保持装置专利类型：发明专利发明人：冈村卓
申请号：CN202010405783.7申请日：20200514公开号：CN111987033A公开日：20201124
摘要：提供保持装置，其能够防止被加工物的破损。对被加工物进行保持的保持装置具有：保持单元，其利用保持面对被加工物进行保持，利用该保持面的环状的吸引区域对被加工物的外周区域进行吸引，该环状的吸引区域形成于保持面的被被加工物覆盖的区域；压力测量单元，其对与吸引区域连接的吸引路的压力进行测量；以及控制单元，在压力测量单元所测量的压力比预先设定的阈值低的情况下，控制单元判定为在被加工物与保持面之间不存在异物，在压力测量单元所测量的压力比阈值高的情况下，控制单元判定为在被加工物与保持面之间存在异物。
申请人：株式会社迪思科
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
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