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专利名称：保持装置专利类型：发明专利发明人：三轮要
申请号：CN201880009146.9申请日：20180131公开号：CN110235515A公开日：20190913
摘要：本公开的一方面的保持装置具备在厚度方向的一方具有主面的保持基板，并且在所述保持基板的内部配置有通过通电而发热的发热部。所述发热部具备：在与所述保持基板的厚度方向正交的平面方向上配置的多个第一发热体及在所述厚度方向上配置于比所述多个第一发热体靠所述一方的主面侧处的第二发热体。所述多个第一发热体中的任一个第一发热体与所述第二发热体通过在所述保持基板内沿所述厚度方向延伸的第一通孔而电串联连接。
申请人：日本特殊陶业株式会社
地址：日本爱知县名古屋市
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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