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专利名称：半导体芯片中的电容专利类型：实用新型专利发明人：许刚
申请号：CN200820057145.5申请日：20080410公开号：CN201207394Y公开日：20090311
摘要：本实用新型揭示了一种半导体芯片中的电容，包括衬底层、多晶硅层、至少一金属层；所述每层金属层呈六边形网状结构。本实用新型能够更佳充分地利用空间，使得金属层的侧表面积可以得到充分利用，从而增加电容的密度；同时，充分利用了通孔的侧面电容，使得等效寄生电容得到提高。这在深亚微米集成电路制造工艺更有意义。
申请人：捷顶微电子(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区春晓路149号主楼1楼
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所
代理人：余明伟
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