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一种生产单晶硅的方法[发明专利]

来源:九壹网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种生产单晶硅的方法专利类型:发明专利发明人:王军,郭大伟,王楠申请号:CN201210020267.8申请日:20120129公开号:CN103225110A公开日:20130731

摘要:本发明涉及单晶硅技术领域,尤其涉及一种生产单晶硅的方法,包括在坩埚底部放置方单晶;在所述方单晶上放置硅料及合金;将所述坩埚放置在单晶硅炉内,经过加热、熔化、长晶、退火和冷却的过程,获得单晶硅锭;其中,所述熔化过程中当所述方单晶熔化到规定深度后,开始所述长晶过程;切割所述单晶硅锭,获得单晶硅片。使用本发明实施例提供的单晶硅生产的方法,通过将放置在坩埚中锋的方单晶熔化到规定深度后,再开始长晶过程,使得长晶时以熔化到规定深度的方单晶为晶核。而且,在长晶过程中控制长晶速度,由此提高单晶硅片的生产效率。

申请人:北京京运通科技股份有限公司

地址:100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

国籍:CN

代理机构:北京同达信恒知识产权代理有限公司

代理人:李娟

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