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专利名称：纳米模塑方法专利类型：发明专利
发明人：J·罗杰斯,华峰,A·施姆申请号：CN200580051576.X申请日：20050915公开号：CN101443884A公开日：20090527
摘要：纳米模塑方法，包括复制小于7纳米的特征尺寸的压印方法。该纳米模塑方法生产小于2纳米的所复制的特征的线边缘粗糙度。该纳米模塑方法包括以下步骤：a)形成其上形成有纳米级特征的第一基材，b)将至少一种聚合物浇铸到该基材上，c)将该至少一种聚合物固化，从而形成塑模，d)从该第一基材移去该塑模，e)提供其上施加有模塑材料的第二基材，f)将该塑模压靠到该第二基材上，从而使该模塑材料与该塑模的形状一致，g)将该模塑材料固化，和h)从该具有固化的模塑材料的第二基材上移去该塑模，从而露出该第一基材的复制物。
申请人：陶氏康宁公司,伊利诺伊大学董事会
地址：美国密执安
国籍：US
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：王健
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