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专利名称：光取向用偏振光照射方法专利类型：发明专利发明人：佐藤伸吾
申请号：CN201610341961.8申请日：20140123公开号：CN105785661A公开日：20160720
摘要：提供一种光取向用偏振光照射方法，能够对板状构件进行光取向加工，能够实现高的生产率。照射单元(1)向照射区域(R)照射偏振光，台移动机构(3)使搭载了基板(S)的第一和第二台(21、22)交替地输送到照射区域(R)并返回。在位于第一基板搭载位置的第一台(21)与照射区域(R)之间确保第二台(22)上的基板(S)经过照射区域(R)的量以上的空间(L1)，在位于第二基板搭载位置的第二台(22)与照射区域(R)之间确保第一台(21)上的基板(S)经过照射区域的量以上的空间(L2)。
申请人：优志旺电机株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
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