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专利名称：利用氟硅酸钠作为原料生产四氟化硅的方法及其生
产设备
专利类型：发明专利
发明人：闫静伟,栗广奉,范金立申请号：CN201810867476.3申请日：20180802公开号：CN108658081A公开日：20181016
摘要：本发明涉及一种利用氟硅酸钠作为原料生产四氟化硅的方法及其生产设备，其主要是通过氟硅酸钠与硫酸反应生产氟化氢以及需要制备的四氟化硅，并且将产生的氟化氢气体进行多方面的反复利用、整合，使得氟化氢与二氧化硅反应进一步的反应出四氟化硅；本发明的有益效果：生产成本低、生产效率高、产量高。
申请人：浙江中宁硅业有限公司
地址：324000 浙江省衢州市柯城区高新技术产业园区华荫北路27号
国籍：CN
代理机构：衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)
代理人：刘奇
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